4 设备与器材

4.1 俄歇电子能谱仪(可扫描成像)。亦可用其他类型的能谱仪。

俄歇电子能谱仪的具体部件、设备及操作应按仪器说明书上的规定进行；观察试样时，依据所需的放大倍数去选择。

4.2 分析条件
分析条件包括内容

——分析室真空：小于7X10^-7Pa；

——初级电子能量：3keV；

——初级电子束流：0.5μA；

——初级电子束直径：＜2μm；

——开机前确定电源电压稳定在220V；

——电气柜接通电源前，灯丝电流和电压旋钮应置于零；

——灯丝电流的控制方式应置于

最大电流接近2.6A左右(旋钮读数为5.2)；

——测量弹性峰时，Ep≤2000eV，倍增器高压用1kV；

——测量俄歇信号时，Ep可用3keV、5keV、或10keV，倍增器高压用1.5kV以上，脉冲计数方式，倍增器高压可用到2.5kV；

——锁定放大器的灵敏度档应由低到高调节，开关电源前，都应置于最低档(250mV)。