4.5 微振控制
1 在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处，应按微振控制要求设计。
2 洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。
3 应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。
4.5.2 精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可按现行国家标准《隔振设计规范》GB 50463的有关规定执行。
4.5.3 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件：
1 周围振源对其综合影响的振动数据。
2 设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。
3 设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。
4 设备、仪器仪表的底座外轮廓图，附属装置，管道位置及坑、沟、孔洞尺寸，地脚螺栓及预埋件位置等。
5 设备、仪器仪表的调平要求。
6 设备、仪器仪表的容许振动值。
7 所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外形尺寸及安装条件。
4.5.4 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应符合下列规定：
1 隔振台座应具有足够的刚度。
2 隔振台座应采取倾斜校正措施。
3 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。
4 隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。
4.5.5 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。
4.5 微振控制
4.5.1 有微振控制要求的洁净厂房，设计应考虑建筑结构的选型及地面（楼面）的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚度，增加地面（楼面）刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等，均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。
在洁净厂房设计中，应首先考虑对强振源采取隔振措施，以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致能够达到预定目的。
在原规范中，本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定，容易引起执行不准确的问题，实施以来确有此种情况发生，为此本次修订将本条改为推荐性条文。
4.5.4 精密设备、仪器仪表的被动隔振措施，由隔振台座及隔振器（或隔振装置）组成。根据隔振设计计算需要，设定隔振台座为不变形刚体，为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方面加以考虑，使之具有足够的刚度。
某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或加工、测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相等，隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仪器仪表难以正常工作。为此，应设置校正倾斜装置，使隔振台座保持原有的水平度，以保证精密设备、仪器仪表的正常运行。
隔振系统阻尼过小，会产生较大的自振，以及受外界突发干扰（如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等），造成隔振台座晃动，这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值，影响其正常运行。为此应增大隔振系统阻尼值，才能减小此类振动。通过多项工程实践表明，隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。
4.5.5 空气弹簧的垂直向、横向刚度很低，使隔振系统具有很低的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性，隔振系统可获得需要的阻尼，因此，隔振系统具有良好的隔振效果。当配用高精度控制阀时，可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性，已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。
用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、高精度控制阀、仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体（如压缩空气、氮气等），因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染。