8.3 管道连接
1 管道连接应采用焊接，热镀锌钢管应采用螺纹连接。
2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接；高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。
8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。
8.3.3 管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定：
1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。
2 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。
8.3.4 洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。
8.3 管道连接
8.3.1 工业管道的连接目前基本均采用焊接，主要是能确保管道连接的严密性。镀锌钢管一般是螺纹连接，由于施工较麻烦且严密性比焊接要难以保证，有少数单位采用焊接，它带来的问题是破坏了管道原有的镀锌层，容易生锈，焊接时出现有刺激性的异味对人体有害，而且管道内壁有脱落的镀层给吹扫带来困难并污染气体，为此本条规定镀锌钢管采用螺纹连接。
不锈钢管承插焊连接的好处是便于管道对中，方便焊接，缺点是由于管道与承插件之间有间隙，产生死角，吹扫时不易吹除干净。对高纯气体要求高和严格的生产工艺会影响其产品质量，为此规定采用对接焊并要求内壁无焊缝，它是氩弧焊接时不施加不锈钢焊丝，利用焊件本身溶化填满焊缝。
8.3.2 以往有些单位采用非金属软管两端加卡箍固定，优点是软管连接管道柔软，长度随意，连接方便，但由于非金属管道对气体和水的渗透性和吸附性都比金属管道差，而且易老化变形，极易造成气体渗漏影响气体质量。现在金属软管品种多、规格全、连接方式多样、使用寿命长，尤其对高纯气体不造成污染，虽价格较贵，但综合比较是合适的，为此本次修订时推荐宜采用金属软管。
不同材料的管道对气体和水的渗透、吸附能力见表10。
表10 不同管道材料渗透性、吸附性比较
8.3.3 本条规定高纯气体管道与阀门连接的密封材料采用金属垫或双卡套，具体选择要随产品生产工艺对高纯气体质量的要求和本身特性决定。金属垫这种密封形式（国外称Cajon VCR形式）严密性好、气体不渗漏和污染，通常用于高纯氢气或氦氢混合气系统以及要求气体杂质十分严格的生产工艺，如集成电路亚微米技术的前工序的各种气体管道，而干燥压缩空气管道则是采用双卡套形式。
工业管道与阀门的法兰或螺纹连接处的密封材料，一般应根据管内流过的物料性质、设计工况（压力、温度等）进行选用，由于四氟乙烯材质具有较广泛的适应性，密封性能较好，为避免在洁净室（区）内因物料泄漏影响洁净生产环境，所以推荐使用。
8.3.4 由于洁净厂房中的工业管道可能有热管道或冷管道，为避免散热和结露应对此类管道进行绝热保温，故增加本条对保温材料及外表面进行规定。