6.1 一般规定

6.1.1 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求。
6.1.2 应根据空气洁净度等级的不同要求，选用不同的气流流型。
6.1.3 下列情况之一者，其净化空调系统宜分开设置：
    1 运行班次或使用时间不同。
    2 生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响。
    3 对温、湿度控制要求差别大。
    4 净化空调系统与一般空调系统。
6.1.4 洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4的规定。

表6.1.4 洁净室的温、湿度范围

6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：
    1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
    2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。
6.1.6 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。
6.1.7 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定。
 

条文说明

6.1.1 洁净的生产环境是生产工艺的需要，是确保产品的成品率和产品质量的可靠性、长寿命所必需的。随着我国国民经济的发展，各行各业对生产环境的温度、相对湿度和洁净度的要求也越来越高。例如：大规模和超大规模集成电路的发展很快，在1980年时其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB；64kB集成电路前工序生产所要求生产环境的洁净度等级只有4级和5级，而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到1级和2级(0.1μm)。
    不同的生产工艺、不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的，因此，确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺、不同工序对环境的洁净度要求而定。
    根据不同生产工艺、不同生产工序对环境洁净度的不同要求，该高则高，该低则低，尽量缩小高洁净度等级部分的面积，以局部 高等级净化和全室较低等级净化的洁净室系统代替全室高等级净化的洁净室系统。既能确保不同生产工艺对环境的要求，又能大幅度地降低初投资和运行费用。
    例如：对于生产1GB超大规模集成电路前工序的洁净室来说，在整个生产过程中只有少数工序（制版、光刻等）对环境的洁净度等级要求最高为1级或2级，而其他大部分工序只要求5级、6级，甚至只有7级。不需将全部洁净室都设计为1级或2级。
6.1.4 人是洁净室内主要的发尘源，作业人员进入洁净室必须穿着与洁净室的空气洁净度等级相适应的洁净工作服。由于洁净工作服的透气性较差，为了保证作业人员的工作环境，提高劳动生产率，在洁净室生产工艺对环境的温、湿度没有特殊要求时，洁净室内的温度主要是为了作业人员的舒适。因此，洁净室温度冬季为20℃～22℃，夏季为24℃～26℃，湿度冬季为30％～50％，夏季为50％～70％，比较适宜。由于洁净室（区）的温度、相对湿度首先应按生产工艺要求确定，只有在生产工艺无要求时，才能按本条的规定根据作业人员的舒适度确定，但在本规范实施中因洁净厂房生产的产品多种多样，作业人员多少和工作条件也不相同，所以强制执行有困难，为此本次修订改为推荐性条文。
6.1.5 本条为强制性条文。现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每人每小时不小于30m³。由于新鲜空气量是确保洁净室（区）作业人员健康的重要条件之一，所以本次修订中对洁净室（区）的新鲜空气量规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和，保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。两项中的最大值。