D.6 室内空气温度和相对湿度的检测

D.6.1 洁净室(区)的温、湿度测试可分为一般温、湿度测试和功能温、湿度测试。
D.6.2 温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数字式温度计等；湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度计等。
D.6.3 温度和相对湿度测试应在洁净室(区)净化空调系统通过调试，气流均匀性测试完成，并应在系统连续运行24h以上时进行。
D.6.4 应根据温度和相对湿度允许波动范围，采用相应适用精度的仪表进行测定。每次测定时间隔不应大于30min。
D.6.5 室内测点布置应符合下列原则：
    1 送回风口处。
    2 恒温工作区具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置)。
    3 没有恒温要求的洁净室中心。
    4 测点应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8m的同一高度上，也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。
D.6.6 温、湿度测点数应符合表D.6.6的规定。

表D.6.6 温、湿度测点数

D.6.7 有恒温恒湿要求的洁净室(房间)，应进行室温波动范围的检测：并应测定并计算室内各测点的记录温度与控制点温度的差值，分别统计小于或等于某一温差的测点数占测点总数的百分比，整理成温差累积统计曲线。当90％以上测点偏差值在室温波动范围内，应判定为合格。
D.6.8 区域温度应以各测点中最低(或最高的)的一次测试温度为基准，并应计算各测点平均温度与上述基准的偏差值，分别统计小于等于某一温差的测点数占测点总数的百分比，整理成偏差累计统计曲线，90％以上测点所达到的偏差值应为区域温差。
D.6.9 相对湿度波动范围及区域相对湿度差的测定，可按室温波动范围及区域温差的测定规定执行。