6.9 围护结构防渗漏检测

6.9.1 围护结构防渗漏检测应符合下列规定：
   1 围护结构防渗漏测试宜采用粒子计数器和光度计；
   2 应检查围护结构的连接处、各种缝隙、工艺管道穿墙处，测试点的数目和位置宜协商确定。
6.9.2 围护结构防渗漏检测应按下列步骤及方法进行：
   1 应在洁净室内，距被测部位5cm处，以5cm/s的速度进行扫描，检查渗漏情况。
   2 当采用粒子计数器时，应首先测量洁净室外部紧邻围护结构或入口处的粒子浓度，该浓度不应小于洁净室内浓度的10³倍，且不应低于3.5×10⁶粒/m³，当浓度小于该值时，应采用人工尘提高浓度。对于打开的入口的防渗漏检测，宜采用示踪法检测入口处的气流流向。
   3 当采用光度计时，宜在洁净室围护结构外侧发人工尘，其浓度应超过光度计在0.1%设置时的满量程，对于打开的入口的防渗漏检测，应采用光度计测量门内侧0.3m～1.0m处的微粒浓度。

条文说明

6.9.2 围护结构渗漏测试是《洁净室及相关受控环境》ISO14644上新增的检测内容，用以检查围护结构严密性，以往一般采用目测，实际工程中，可根据需要进行测试，通常用于高级别洁净室。采用粒子计数器时，如果被测位置的含尘浓度超过室外相同粒径的粒子浓度的1％，则认为有渗漏，采用光度计时，当0.1％设置的光度计的读数超过0.01％时，则认为有渗漏。